真空隔膜閥是利用閥桿將橡膠膜直接壓在閥座上，用來截止或接通真空系統(tǒng)。采用連接形式有活套法蘭連接、快卸法蘭連接、焊接式連接。焊接式連接又分焊接式I型連接〔即兩端焊接〕，焊接式II型連接〔即 一端焊接，另一端插入〕。閥門適用的工作介質為空氣及非腐蝕性氣體。

　　真空隔膜閥的工作原理及組成：

　　真空隔膜閥用耐腐蝕襯里的閥體和耐腐蝕隔膜代替閥芯組件，利用隔膜的移動起調節(jié)作用。隔膜閥的閥體材料采用鑄鐵、鑄鋼，或鑄造不銹鋼，并襯以各種耐腐蝕或耐磨材料、隔膜材料橡膠及聚四氟乙烯。襯里的隔膜耐腐蝕性能強，適用于強酸、強堿等強腐蝕性介質的調節(jié)。

　　真空隔膜閥的結構簡單、流體阻力小、流通能力較同規(guī)格的其他類型閥大；無泄漏，能用于高粘度及有懸浮顆粒介質的調節(jié)。隔膜把介質與閥桿上腔隔離，所以沒有填料介質也不會外漏。但是，由于隔膜和襯里材料的限制，耐壓性、耐溫性較差，一般只適用于1.6MPa公稱壓力和150℃以下。

　　真空隔膜閥的流量特性接近快開特性，在60%行程前近似為線性,60%后的流量變化不大。氣動形式的隔膜閥尚可附裝反饋信號、限位器及定位器等裝置，以適應自控、程控或調節(jié)流量的需要。氣動隔膜閥的反饋信號采用無觸點傳感技術。該產(chǎn)品采用薄膜式推進氣缸，替代活塞氣缸，排除了活塞環(huán)易損壞，造成泄漏而導致無法推動閥門啟閉的弊端。當氣源發(fā)生故障時，尚可操作手輪使閥門啟閉。