復合式分子泵是一種高性能的真空泵，結合了多種技術的優(yōu)點，具有大抽速、高壓縮比和高可靠性等特點，被廣泛應用于高真空、超高真空領域。其結構形式多種多樣，其中主要包括渦輪葉片不盤式牽引泵的串聯組合和渦輪葉片不筒式牽引泵的串聯組合。渦輪級主要用于提高泵的抽速，而牽引級則主要用于增加泵的壓縮比，提高泵的出口壓力。

　　復合式分子泵的主要組成部分及其功能：

　　1、轉子（Rotor）

　　功能：轉子是分子泵的核心部件，通常由多級葉片或螺旋槽組成，通過高速旋轉（10,000~60,000 RPM）將氣體分子從入口輸送到出口。

　　結構：

　　渦輪級：位于泵的高壓側，通過葉片對氣體分子進行動量傳遞，實現壓縮和抽氣。

　　牽引級：位于泵的低壓側，利用分子與壁面的碰撞作用，進一步提高抽氣效率和極限真空度。

　　材料：通常采用高強度、耐腐蝕的合金材料（如鈦合金、不銹鋼），以承受高轉速和高溫環(huán)境。

　　2、定子（Stator）

　　功能：定子是泵的靜止部分，與轉子配合形成抽氣通道。其內壁通常經過特殊處理（如鍍膜或拋光），以減少氣體分子的反射和能量損失。

　　結構：定子上設有進氣口、排氣口和冷卻通道，確保氣體流動的順暢和熱量的及時散發(fā)。

　　3、軸承系統（Bearing System）

　　功能：支撐轉子高速旋轉，同時保證密封性和穩(wěn)定性。

　　類型：

　　陶瓷軸承：耐高溫、耐磨損，適用于高轉速場景。

　　磁懸浮軸承：無機械接觸，減少摩擦和振動，但成本較高。

　　動y軸承：依賴轉子旋轉產生的氣流形成潤滑膜，適用于小型分子泵。

　　冷卻方式：軸承通常需要強制冷卻（如風冷、水冷或油冷），以防止過熱損壞。

　　4、驅動系統（Drive System）

　　功能：為轉子提供高速旋轉動力，通常由電機和變頻器組成。

　　組成：

　　電機：多為高速永磁同步電機，具有體積小、效率高的特點。

　　變頻器：調節(jié)電機轉速，實現軟啟動、平穩(wěn)運行和過載保護。

　　控制方式：通過閉環(huán)控制系統（如PID調節(jié)）維持轉子轉速穩(wěn)定。

　　5、密封與連接部件

　　功能：確保泵體的氣密性，防止外部空氣泄漏或內部氣體反流。

　　組成部分：

　　金屬密封：使用銅墊圈、氟橡膠圈或金屬刀口密封，適用于高真空環(huán)境。

　　法蘭接口：標準法蘭（如ISO-KF、CF）用于連接真空系統，需配合密封脂或墊片。

　　軸封：防止驅動軸與泵體之間的氣體泄漏，通常采用機械密封或磁性密封。

　　6、冷卻系統（Cooling System）

　　功能：帶走轉子和軸承產生的熱量，防止泵體過熱。

　　類型：

　　風冷：通過散熱風扇或外部風道散熱，結構簡單但效率較低。

　　水冷：通過循環(huán)水冷卻，適用于高負荷或大型分子泵。

　　油冷：使用冷卻油循環(huán)，兼具潤滑和散熱功能。

　　7、控制器（Controller）

　　功能：監(jiān)控和調節(jié)泵的運行狀態(tài)，包括轉速、功率、溫度和故障報警。

　　主要功能：

　　啟?？刂疲簩崿F軟啟動和平穩(wěn)停機，避免電流沖擊。

　　轉速調節(jié)：根據工藝需求調整轉子速度。

　　狀態(tài)顯示：實時顯示真空度、轉速、溫度等參數。

　　保護功能：過載、過熱、斷電等異常情況下自動停機。

　　8、進氣口與排氣口

　　進氣口：連接真空系統，抽取氣體分子。

　　排氣口：將壓縮后的氣體排出泵外，通常連接到前級泵（如旋片泵或干泵）的進氣口。

　　9、支架與固定裝置

　　功能：固定泵體并吸收振動，確保運行穩(wěn)定性。

　　組成：減震墊、彈簧片或剛性支架，根據安裝環(huán)境選擇。